檢索結果:共3筆資料 檢索策略: "Chyi-Yeu Lin".ecommittee (精準) and cadvisor.raw="鄭正元"
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目前主流半導體製程仍採用實體光罩進行黃光微影,但實體光罩有易污染、成本高以及光罩更換與對準曝光等問題。為解決這些問題,本實驗室開發出特殊的無光罩顯微鏡微影系統,其特點為整合了顯微鏡與投影機這兩個不同…
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飛秒雷射具有超短脈衝以及光能量密度極高的特性,且擁有特殊的光化學材料剝離機制。這些特性使其有別於一般雷射而有加工熱影響區小、加工尺寸精密度高、以及熱應力低所帶來的內部加工優勢。利用這些特點,本研究以…
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本論文探討超短脈衝雷射的精密微細加工能力,研究雷射功率、掃瞄速度與聚焦深度對材料的影響。透過觀察加工形貌與材料吸收情況,進行結果分析及建立材料的加工趨勢,以利後續設計雷射加工製程,提出各種不同領域的…